Aktive Thermosonde
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Die Aktive Thermosonde misst den tatsächlichen Energieeintrag, der in einem Plasmaprozess auf ein Substrat auftrifft. Die am Substrat ablaufenden Vorgänge ändern sich in allen plasmatechnologischen Prozessen wesentlich mit der Energie der ankommenden Teilchen. Zusammen mit weiteren Anteilen (Wärmestrahlung etc.) bildet sie den gesamten Energieeintrag auf das Substrat. Um einen Bezug von dem Energieeintrag auf die gewünschten Substrateigenschaften zu erreichen, ist eine hochfeine Messung der Energie unumgänglich. Die Sonde reagiert sehr empfindlich auf Änderungen der Prozessparameter. Somit ist sie zur kostengünstigen Qualitätssicherung in industriellen Prozessen oder zur Beantwortung von Forschungsfragen geeignet. Die Charakterisierung, Regelung sowie Überwachung von Plasmaprozessen gerade in Forschung und Entwicklung wird durch eine größere Auswahl der einstellbaren Parameter erleichtert. Eigenschaften der Aktiven Thermosonde:
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