Q-MACS Process MC
Das Q-MACS Process MC ist ein mobiles Mess- und Überwachungssystem zur in situ Online-Diagnostik von industriellen Prozessen, wie Ätz-, Beschichtungs- und Nitrierplasmen mit dem Potential zur kennzahlgesteuerten Prozessführung. Es basiert auf der bewährten Q-MACS Basic Technologie. Dieses in situ Messsystem nutzt die Infrarot-Absorptionsspektroskopie zur Bestimmung von absoluten molekularen Konzentrationen der überwachten Spezies im Prozessraum. Die optische Anbindung zum Prozessreaktor erfolgt dabei über Standard-Vakuumflansche.

• System mit geschlossenem optischen Pfad
• Ausstattung mit 1 bis 4 Laser
• Empfindlichkeit % - ppb
• Zeitauflösung bis <1ms

Das Q-MACS Process MC beinhaltet alle für den Betrieb des Systems benötigten Geräte und Software.

Q-MACS Process DC
Das Q-MACS Process DC ist ein erweitertes Mess- und Überwachungssystem zur Online-Diagnostik von industriellen Prozessen, wie Sinter-, Ofen- und Verbrennungsprozessen. Dieses Freistrahl-System nutzt die Infrarot-Absorptionsspektroskopie zur Bestimmung von absoluten molekularen Konzentrationen in schwer zugänglichen Prozessräumen. Die Einkopplung ist dabei vollständig ohne mechanische Verbindungen zum untersuchten Prozessraum konzipiert. Durch die Integration eines zweiten, internen Detektionspfad zur Untergrund- und Referenzmessung wird das Signal-Rauschverhältnis signifikant verbessert und eine sehr gute Langzeit-Stabilität erzielt.

• Freistrahl-System
• Ausstattung mit 1 bis 2 Lasern
• zusätzlicher Referenz- und Normalisierungskanal
• Empfindlichkeit % - ppb
• Zeitauflösung bis <1 ms

Das Q-MACS Process DC beinhaltet alle Geräte und die Software, die für den Betrieb des Systems benötigt werden.

Q-MACS Process fibre
Das Q-MACS Process fibre ist ein mobiles Mess- und Überwachungssystem zur Online-Diagnostik von industriellen Prozessen. Das System nutzt die Infrarot-Absorptionsspektroskopie zur Bestimmung von absoluten molekularen Konzentrationen. Durch einen zweikanaligen Aufbau wird eine sehr gute Langzeit-Stabilität erreicht. Das System wird durch eine Infrarot-Faser direkt mit dem zu analysierenden Prozess verbunden, wodurch eine hohe Flexibilität der Aufstellung und eine geringe Störanfälligkeit des Aufbaus (geschlossener optischer Pfad) ermöglicht werden.

• System mit geschlossenem optischen Pfad
• Ausstattung mit 1 Laser
• zusätzlicher Referenz- und Normalisierungskanal
• Empfindlichkeit % - ppb
• Zeitauflösung bis <1ms

Das Q-MACS Process fibre wird mit allen zum Betrieb nötigen Geräten und der Software geliefert.